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基于槽形函數擬合的刻劃光柵衍射特性分析方法（PDF）
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軟件大小： 285.00 KB 解壓密碼： 軟件評級： ★★★ 開 發 商： Frank 本月下載： 軟件類別： 國產軟件 軟件授權： 免費版 軟件語言： 英文 運行平臺： Win9x/NT/2000/XP/2003 更新時間： 2011年12月15日 -
作為對光柵刻劃工藝的理論指導，提出了一種基于槽形函數擬合的機械刻劃光柵衍射特性分析方法，解決了高刻線密度光柵衍射效率測量值與理論值偏差較大的問題．以刻線密度為1200 l／mm的紫外光柵為例，對光柵主截面上的實際槽形縱橫坐標掃描取值，進而擬合出槽形函數，經理論計算找到了導致衍射效率偏低的原因，并通過改進工藝，使光柵衍射效率提高了約20％ 。
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