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根據表面熱動力學原理提出了一種成本低廉、制作周期短、易于實現的光刻膠熱熔法,闡述了光刻膠熱熔法的基本原理,探討了光刻膠熱熔對光刻膠光柵表面刻槽形狀的影響。實驗中,分別對經過和未經過熱熔處理的光刻膠光柵做了離子束刻蝕。結果表明,利用表面張力作用可使熔融狀態下的光刻膠光柵刻槽表面變得平滑,粗糙度降低,并且成功地在K9 玻璃基底上得到了槽形較好的全息光柵。

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